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POCl3磷扩散原理资料免费全文阅读

【POCl3磷扩散原理资料免费全文阅读】在半导体制造工艺中，磷扩散是实现n型掺杂的重要手段之一。其中，POCl₃（三氯氧磷）作为一种常用的磷
2025年08月01日 09:23:40

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